ナノパーティクルネブライザーは、ピーク直径が 1μm 未満となる液滴を生み出します。従来のネブライザーでコロイド粒子のエアロゾルを発生させると、しばしばサンプル内の不揮発性残渣物の干渉を受けます。液滴を蒸発させた後、液滴にコロイド粒子が含まれているか否かに関わらず、不揮発性残渣物が残渣粒子を発生させます。